金融界2025年6月27日消息，国家知识信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“动态冷却剂混合歧管”的，公开号CN120221449A，申请日期为2019年01月冷却剂 。
摘要显示，本发明涉及动态冷却剂混合歧管冷却剂 。一种用于控制布置在衬底支撑组件上的衬底的温度的系统包括分别以固定流速供应在第一温度和第二温度下的流体的第一源和第二源。第一三通比例阀和第二三通比例阀接收来自第一源和第二源的流体，混合所接收的流体的第一部分以将具有预定温度的流体以预定流速供应到衬底支撑组件，并使所接收的流体的第二部分返回到第一源和第二源。第三三通比例阀从衬底支撑组件接收预定流速的流体，并将接收的流体返回到第一源和第二源。控制器控制第一和第二阀以将流体供应到衬底支撑组件，并控制第三阀以在第一源和第二源之间分配流体。
来源：金融界